一种新型固晶治具
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种新型固晶治具,包括工作台、晶圆盘定位支撑件、治具盘、固晶台、位移支撑架、固晶组件、位移吸附组件、传输组件和转动驱动组件,晶圆盘定位支撑件设于工作台上,晶圆盘定位支撑件上设有定位限位柱,治具盘圆周设有定位槽,转动驱动组件设于工作台腔体内,传输组件设于工作台上,且传输组件位于晶圆盘定位支撑件一侧,固晶台设于传输组件上,位移支撑架设于工作台上,位移吸附组件设于位移支撑架上且位于晶圆盘定位支撑件上方,固晶组件设于位移支撑架侧边。本实用新型属于晶片固定装置制造技术领域,具体是提供了一种结构简单,机械手对晶圆位置判断精准率高,且可连续固晶的新型固晶治具。

基本信息
专利标题 :
一种新型固晶治具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021269320.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-01
授权号 :
CN212463916U
授权日 :
2021-02-02
发明人 :
杨伟
申请人 :
深圳市仕力沿海科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华新区观澜街道大和社区环观南路105号-16号1楼
代理机构 :
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 :
李枝玲
优先权 :
CN202021269320.4
主分类号 :
H05K13/02
IPC分类号 :
H05K13/02  H05K13/04  
法律状态
2022-04-05 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H05K 13/02
登记生效日 : 20220323
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 深圳市仕力沿海科技有限公司
变更后权利人 : 深圳市铨天科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 518000 广东省深圳市龙华新区观澜街道大和社区环观南路105号-16号1楼
变更后权利人 : 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道老坑社区锦绣中路18号齐心科技园1号厂房501-601
2021-02-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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