一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，包括显影液生产线，所述显影液生产线的一侧设置有冷凝回收甲醇，所述冷凝回收甲醇的一侧设置有真空泵机组，所述真空泵机组主要包括有水环真空泵，所述真空泵机组的一侧设置有水封罐，所述水封罐的一侧设置有七塔，所述七塔的一侧设置有膜回收机组，所述膜回收机组的内部设置有预冷器，所述预冷器的上端设置有真空泵，所述真空泵的上端设置有旁通管辂。本实用新型所述的一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，在七塔尾气出口处安装膜回收装置，回收尾气中甲醇等有机相液态，回收液资源化利用，降低尾气浓度，减轻后续VOC治理负荷，带来更好的使用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021273116.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-03
授权号 ：
CN212757943U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
刘颂军孙炜贾成林郭双环
申请人 ：
沧州信联化工有限公司
申请人地址 ：
河北省沧州市沧州临港化工园区
代理机构 ：
沧州市博圣恒专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王华森
优先权 ：
CN202021273116.X
主分类号 ：
B01D53/22
IPC分类号 ：
B01D53/22 B01D53/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/22
用扩散法
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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