一种溅镀头防污染保护装置
授权
摘要
本实用新型涉及零件保护装置领域，尤其涉及一种溅镀头防污染保护装置，包括：溅镀头和保护装置，所述保护装置包括：驱动气缸、驱动齿条、防护罩体、固定座和从动齿圈；采用本实用新型，溅镀头是固定在盖板上，驱动气缸穿设在盖板上，盖板上放方为气缸，盖板下方为伸缩杆，驱动齿条就固定安装在伸缩杆上，当驱动气缸工作，推动驱动齿条，进而进一步的拖动从动齿圈，从动齿圈带动与其固定的防护罩体，所述防护罩体以固定座位支点，进而旋转，以达到保护盖设在溅镀头上的目的；通过驱动气缸的伸缩状态，防护罩体盖设保护与上扬打开两种状态。
基本信息
专利标题 ：
一种溅镀头防污染保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021280088.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-02
授权号 ：
CN213013069U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
吴煜明
申请人 ：
柏霆（苏州）光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区木桥街1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021280088.4
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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