本实用新型公开了高精度执行器，包括调节阀、支架、电缸、行星减速器和伺服电机，所述调节阀上焊接有支架，所述支架上表面螺栓固定有电缸、所述电缸的上表面螺栓固定有行星减速器，且行星减速器上表面螺栓固定有伺服电机。本实用新型中，该高精度执行器，结构简单，结构紧凑，维护保养方便，并且对比于传统的执行器，重量轻，安装固定和转移均十分的方便，其次设置有行星减速器和电缸配合伺服电机使用，电缸的设置，可以将伺服电机精确转速控制，精确转数控制，精确扭矩控制转变成‑精确速度控制，精确位置控制，精确推力控制，实现了高精度执行。