一种用于晶圆检测的移动载台机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括用于放置晶圆的承托盘及固定座，承托盘的底部设有支撑柱，承托盘的左右两侧设有承托块，承托块的底部与升降驱动器连接，升降驱动器驱动承托块升降，承托块至少设置两个配合承托不同尺寸晶圆的承托槽，承托槽为与承托盘具有相同圆心的扇环形，承托盘的前后两侧设有推压块，推压块与推压气缸连接，推压气缸驱动推压块靠近或远离晶圆，支撑柱、升降驱动器及推压气缸设于固定座上，本实用新型适用性强的，可对晶圆进行定位放置，防止其偏移。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆检测的移动载台机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021304599.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-06
授权号 ：
CN212062409U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
莫景钊叶纬莫景新
申请人 ：
广东唯是晶圆科技有限公司
申请人地址 ：
广东省江门市新会装备产业园大泽园区办公楼101室
代理机构 ：
北京卓特专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
段宇
优先权 ：
CN202021304599.5
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/687 G01V8/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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