应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统

授权

摘要

本实用新型实施例涉及一种应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统。该拉取装置包括互相之间存在连接关系的底座、承载件、定位件、抓取件、第一电机以及第二电机。其中，底座和承载件活动连接，能够实现拉取装置的高度调节，使得抓取件与石英套管的高度一致，这样能够通过抓取件对石英套管进行水平拉取，避免拉取角度倾斜导致石英套管破损。通过控制第二电机运转，能够使得抓取件对石英套管进行稳固抓取。通过控制第一电机运转，能够带动第一转动轮转动和传送带运动，使得传送带通过定位件的结合部带动定位件沿着设置在承载件的第一承载部和第二承载部之间的导向杆运动，从而实现对石英套管的平稳、等距离拉取。

基本信息

专利标题：

应用于扩散炉的拉取装置及拉取系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021307735.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-07

授权号：

CN212253721U

授权日：

2020-12-29

发明人：

燕超徐嘉

申请人：

吉林华微电子股份有限公司

申请人地址：

吉林省吉林市高新区深圳街99号

代理机构：

成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

唐维虎

优先权：

CN202021307735.6

主分类号：

F27D99/00

IPC分类号：

F27D99/00 F27D19/00 H01L21/22