脱膜液储蓄槽及联动脱膜设备
授权
摘要

本实用新型提供了一种脱膜液储蓄槽及联动脱膜设备,属于蚀刻技术领域,包括槽体、加热器以及水泵;槽体内设有过滤器,将槽体分隔过滤腔和储液腔;槽体上设有多个进液口,各进液口与过滤腔连通;槽体上设有多个出液口,各出液口与储液腔连通;槽体的外侧面上设有连接孔,与连接孔相邻的两个槽体的内壁上均设有与连接孔相对应的滑槽,过滤器与滑槽滑动配合;加热器设于储液腔中,用于加热脱膜液;水泵设于储液腔内;水泵的数量为多个,且分别与各出液口连接,本实用新型提供的脱膜液储蓄槽,仅需设置一个脱膜液储蓄槽就可以为其提供脱膜液,且循环使用脱膜液,降低了脱膜液的使用能耗,并且较为方便的清理出过滤器上的残渣,使用操作方便。

基本信息
专利标题 :
脱膜液储蓄槽及联动脱膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021343568.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-09
授权号 :
CN213643252U
授权日 :
2021-07-09
发明人 :
陈官乐
申请人 :
东莞市固鸿精密科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市虎门镇南栅社区南栅第四工业区文明路七巷11号B栋五楼
代理机构 :
深圳冀深知识产权代理有限公司
代理人 :
张玺
优先权 :
CN202021343568.0
主分类号 :
B01D29/03
IPC分类号 :
B01D29/03  B01D29/96  H01L21/67  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D29/00
不包括在组B01D24/00至B01D27/00中的过滤期间过滤元件不动的过滤器,例如压滤器或吸滤器;其过滤元件
B01D29/01
带有平的过滤元件
B01D29/03
自支撑的
法律状态
2021-07-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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