一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器
授权
摘要
本实用新型提出了一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器,包括加热体和导流体,所述加热体包括的圆柱形腔体以及位于腔体内的加热装置和保温装置,所述加热装置包括圆柱形泡沫金属以及依次包覆在泡沫金属外侧的铜环和环形电缆,保温装置包覆于加热装置外侧;所述导流体与加热体相连,用于将经加热体加热后的氮气送入半导体管道中。本实用新型通过采用孔隙度高达90%以上的泡沫金属作为交换媒介,泡沫金属具有孔隙比表面积大,通气性高等独特的结构特点,增加了接触面积,热效率更高,环形电缆结构,电缆本身不会产生热量,使用寿命大大增加;采用热电偶感应探头,能准确感应氮气温度。
基本信息
专利标题 :
一种用于半导体管道除粉的电磁式氮气加热器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021359580.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-13
授权号 :
CN213747303U
授权日 :
2021-07-20
发明人 :
吴昊
申请人 :
摩尔机电工程无锡有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区锡兴路18号汇鸿工业园6栋
代理机构 :
南京禾易知识产权代理有限公司
代理人 :
王彩君
优先权 :
CN202021359580.0
主分类号 :
F24H3/04
IPC分类号 :
F24H3/04 F24H9/18 F24H9/20 H05B6/10
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F24
供热;炉灶;通风
F24H
一般有热发生装置的流体加热器,例如水或空气的加热器
F24H
一般有热发生装置的流体加热器,例如水或空气的加热器
F24H3/00
具有热发生装置的空气加热器
F24H3/02
用强制循环的
F24H3/04
空气与加热介质直接接触的,例如电热元件
法律状态
2021-07-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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