一种具有送料结构的真空镀膜装置
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了一种具有送料结构的真空镀膜装置,包括真空镀膜外壳、镀膜承载体、蒸发器组件、溶液侧槽、红外测距仪、控制器、运载带、挡板、送料仓、传送带、传送通道、振动电机、连接支板和杂质仓,所述蒸发器组件的左侧安装有溶液侧槽,且溶液侧槽上方安装有红外测距仪,所述红外测距仪的上方竖直有控制器,所述蒸发器组件的右上方设置有运载带,且运载带的外表面安装有挡板,所述运载带的右侧设置有送料仓,且送料仓的右侧安装有传送通道,所述传送通道的内壁固定有振动电机,且振动电机的输出端连接有连接支板。该真空镀膜装置可以实时监测溶液侧槽的深度,可以自动化控制运载带和传送带的电机实现自动化的向内部送料。

基本信息
专利标题 :
一种具有送料结构的真空镀膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021378894.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-14
授权号 :
CN213924986U
授权日 :
2021-08-10
发明人 :
陈志阳
申请人 :
陈志阳
申请人地址 :
福建省泉州市惠安县紫山镇蓝田村东乾56号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021378894.5
主分类号 :
C23C14/24
IPC分类号 :
C23C14/24  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-17 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : C23C 14/24
登记生效日 : 20220507
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 陈志阳
变更后权利人 : 中唯精密工业有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 362100 福建省泉州市惠安县紫山镇蓝田村东乾56号
变更后权利人 : 300300 天津市东丽区华明高新技术产业区华丰路6号A座3号楼C401室
2021-08-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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