一种晶圆检测用探针卡
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶圆检测用探针卡，包含有承载整体结构的加固物、设置在加固物上的采用环氧树脂制成的固定块、设置在所述固定块上的探针和套设在探针上的绝缘针套。通过在针体上套设一绝缘针套，实现对检测过程中的探针记性缓冲，减少针体受到的磨损，达到延长针体的使用寿命和保证检测质量的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆检测用探针卡
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021386917.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-14
授权号 ：
CN213750021U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
方琼慧王政雄
申请人 ：
联立（徐州）半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市经济技术开发区清洁技术产业园服务中心213室
代理机构 ：
苏州创策知识产权代理有限公司
代理人 ：
范圆圆
优先权 ：
CN202021386917.7
主分类号 ：
G01R1/067
IPC分类号 ：
G01R1/067 G01R31/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/06
测量引线；测量探针
G01R1/067
测量探针
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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