一种气体压力调节装置
授权
摘要

本实用新型属于半导体制造技术领域,尤其是一种气体压力调节装置,包括沉积炉,所述沉积炉的顶部固定安装有出气管,出气管的顶部固定安装有安装箱,所述出气管内活动安装有活动杆,活动杆的一端固定套接有位于出气管内的且与出气管相适配的活塞,活塞为锥形设置,活动杆的另一端延伸至安装箱内的被挤压板,所述安装箱的一侧开设有转孔,转孔内转动安装有圆杆,圆杆的两端均延伸至转孔外且一端延伸盒至安装箱内且固定套接有圆杆,圆杆位于被挤压板的上方。本实用新型结构简单、使用方便、便于调节沉积炉的出气孔的开口开度、便于调节沉积炉内部的气压。

基本信息
专利标题 :
一种气体压力调节装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021390956.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-15
授权号 :
CN212873289U
授权日 :
2021-04-02
发明人 :
吴桂星
申请人 :
湖州新奥利吸附材料有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市菱湖镇山塘西湾士山
代理机构 :
北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李海燕
优先权 :
CN202021390956.4
主分类号 :
G05D16/20
IPC分类号 :
G05D16/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D16/00
流体压力的控制
G05D16/20
以使用电装置为特征的
法律状态
2021-04-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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