一种磁性冷却空心管
授权
摘要
本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种磁性冷却空心管，其包括空心管和电磁线圈，所述空心管为真空弯管，电磁线圈绕设于真空弯管的外管壁，真空弯管设有冷却夹层空腔，冷却夹层空腔设有冷却液进口以及冷却液出口，电磁线圈的中心轴线、真空弯管的中心轴线和冷却夹层空腔的中心轴线共线设置。本实用新型的带电的靶材原子能够沿弯曲路径溅射到预设位置的工件的表面，沉积形成镀层，还能够对空心管实现快速降温，冷却效果好，保护真空弯管，延长使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种磁性冷却空心管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021413310.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN213388870U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
王俊锋袁明王锋
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭村工业区一横南路12号
代理机构 ：
东莞市华南专利商标事务所有限公司
代理人 ：
袁敏怡
优先权 ：
CN202021413310.3
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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