一种氮化镓生产尾气处理用快接管线
授权
摘要

本实用新型涉及一种氮化镓生产尾气处理用快接管线,属于氮化镓生产技术领域。快接管线包括过滤器和真空泵,过滤器的进气端通过硬质管线连接氮化镓生长炉的出气管,真空泵的进气端连接有第一三通管,第一三通管的进气端通过第一波纹管与所述过滤器的出气端连接,第一三通管连接真空泵,并设置有第一电动开关阀,第一三通管连接第二波纹管并设有第二电动开关阀,第二波纹管的另一端通过第二三通管连接尾气回收装置,真空泵的出气端通过第三电动开关阀连接第二三通管,各管口对接处分别通过快接件进行紧固连接。通过设置真空泵、两段三通管及三个电动开关阀使快接管线既构成尾气排出管线,同时又具备对生长炉的抽真空功能,实用方便。

基本信息
专利标题 :
一种氮化镓生产尾气处理用快接管线
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021415237.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-17
授权号 :
CN212616872U
授权日 :
2021-02-26
发明人 :
石恒业邵永亮张保国胡海啸李仕蛟
申请人 :
山东科恒晶体材料科技有限公司
申请人地址 :
山东省淄博市淄川经济开发区胶王路辅道以北、西十二路以东
代理机构 :
北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
左海明
优先权 :
CN202021415237.3
主分类号 :
F16L21/06
IPC分类号 :
F16L21/06  F17D1/02  F17D3/01  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L21/00
用套或管座连接
F16L21/06
采用分开的管套或环夹在管子端头周围
法律状态
2021-02-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332