晶圆作业平台及具有其的点胶机

授权

摘要

本实用新型公开了一种晶圆作业平台及具有其的点胶机，晶圆作业平台能够用于点胶机本体对晶圆进行点胶，点胶机本体在点胶位置和保温位置之间可活动，点胶机包括：发热支撑台；加热器，上表面形成为加热面，晶圆位于加热面的上方，在点胶机本体位于点胶位置时，点胶机本体位于晶圆的上方；点胶保温平台，设于发热支撑台的一侧，点胶保温平台具有能够对点胶机本体进行加热的保温面，在点胶机本体位于保温位置时，点胶机本体接近于保温面。根据本实用新型实施例的晶圆作业平台不仅能够确保胶水的温度达到点胶要求，防止胶水冷却不易流出，还能够使点胶机本体的各个位置温度均匀，提升点胶质量。

基本信息

专利标题：

晶圆作业平台及具有其的点胶机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021419017.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-17

授权号：

CN212370488U

授权日：

2021-01-19

发明人：

冒洋洋林翔周典虬郜福亮樊建曲东升李长峰

申请人：

常州铭赛机器人科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦

代理机构：

常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

赵旭

优先权：

CN202021419017.8

主分类号：

B05C5/02

IPC分类号：

B05C5/02 B05D3/02 B05C11/10 B05C13/02 H01L21/67 B05C9/14