一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置
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摘要
本实用新型公开了一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置。现有装置很难保证气室所在环境中温度均一性。本实用新型包括支架、翻转机构和传动机构。翻转机构包括外环翻转机构和内环翻转机构。外环翻转机构的外翻转环通过翻转电机带动翻转。翻转电机通过绕动直齿轮、锥形齿轮组带动内环翻转机构的内翻转环相对外翻转环进行翻转。翻转电机带动绕动直齿轮自转，绕动直齿轮沿固定直齿轮边沿公转。使用中将碱金属原子气室固定安装在内翻转环上，整体结构置于加热炉中。本实用新型通过两次齿轮连接，保证内外的两个翻转环相互垂直交错翻转，可以在镀膜气室加热时候提供均匀受热的环境，实现抗弛豫膜的均匀涂覆，保证碱金属原子气室的成膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021445704.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-21
授权号 ：
CN212560431U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
林强陈军严勇李德钊李衎张桂迎
申请人 ：
浙江工业大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市下城区潮王路18号
代理机构 ：
杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
朱亚冠
优先权 ：
CN202021445704.7
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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