一种微量气体控制器

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摘要

本实用新型提供一种微量气体控制器，通过标定流量和压力设定值，实现精确进气量控制，解决了原来进气不稳定、操作难度大等不足。本实用新型一种微量气体控制器的技术方案包括：载气气瓶、待测气瓶、气体流量计、气体压力控制器和定量管，所述载气气瓶通过进气管路一与所述气体流量计连接，所述待测气瓶通过进气管路二与所述气体流量计连接，所述气体流量计与气体压力控制器连接，所述气体压力控制器与所述定量管连接。

基本信息

专利标题：

一种微量气体控制器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021470383.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-23

授权号：

CN212672958U

授权日：

2021-03-09

发明人：

马健宋玉国

申请人：

北京洁明伟业环境工程有限公司

申请人地址：

北京市昌平区科技园区超前路5号B座309E

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021470383.6

主分类号：

F17D1/02

IPC分类号：

F17D1/02 F17D3/01 G05D27/02