一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器
授权
摘要
本实用新型提供了一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器，包括压力输入模块、压力感应模块、信号处理模块、信号输出模块；所述压力输入模块负责外界压力的输入，在其竖直方向的中心设有空腔；所述压力感应模块负责感应压力信号，嵌入在所述空腔上部；所述信号处理模块负责对压力信号进行放大、运算、整形、补偿和标定的处理，安装在压力感应模块的上方并与之顶端信号连接；所述信号输出模块负责将压力信号进行输出，位于信号处理模块上方包裹住信号处理模块并与之顶端信号连接，且与压力输入模块上端部固定连接。本实用新型的有益效果在于：通过模块化的设计及制造工艺简化生产工艺的复杂性、降低了生产工艺成本，提高了产品质量的稳定性和生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021471525.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-23
授权号 ：
CN212482747U
授权日 ：
2021-02-05
发明人 ：
唐中山
申请人 ：
唐中山
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区彩田路彩天名苑碧萝轩20E
代理机构 ：
深圳峰诚志合知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈列生
优先权 ：
CN202021471525.0
主分类号 ：
G01L1/20
IPC分类号 ：
G01L1/20 G01L9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
法律状态
2021-02-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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