一种铜腐蚀液用生产线
授权
摘要
本实用新型涉及一种铜腐蚀液用生产线，所述铜腐蚀液用生产线包含配制罐（1）、乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）、表面活性剂储罐（5）、真空泵（6）、单向阀（7）、三通（8）、压缩空气水洗装置（9）、滤芯（10）、检验装置（11）和三通阀（12）；所述配制罐（1）顶部设有四个进料口和一个出气口，四个进料口分别与乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）和表面活性剂储罐（5）通过管道相连，出气口与真空泵（6）相连。本实用新型生产的铜腐蚀液不腐蚀铝、镓等金属层及硅片、铜腐蚀速率平稳可控、生产成本低。
基本信息
专利标题 ：
一种铜腐蚀液用生产线
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021471657.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-23
授权号 ：
CN212396595U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
殷金虎李虎宝李冬明
申请人 ：
江阴市化学试剂厂有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市华士镇向阳桥堍
代理机构 ：
江阴市权益专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈强
优先权 ：
CN202021471657.3
主分类号 ：
B01F13/06
IPC分类号 ：
B01F13/06 B01F7/18 B01F15/00 B01F15/02 B01F15/06 B01F3/22 C23F1/18
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01F
混合，例如，溶解、乳化、分散
B01F13/00
其他混合机；混合设备，包括不同混合机的组合
B01F13/06
适于在低于或高于大气压下工作的混合机
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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