一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置
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摘要
本实用新型涉及光分路器技术领域,尤其是一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置,包括底部支撑块,底部支撑块内腔底部设有UV面光源,且底部支撑块上端设有横向支撑板,横向支撑板中部开设有光照孔,其上方设有透光板,透光板上设有待照胶晶圆,且其待照胶晶圆通过压紧机构压紧于透光板上。本实用新型的一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置,将其待照胶晶圆放置于透光板上,然后通过其压紧机构对其进行压紧限位,压紧机构上的压板完全覆盖待照胶晶圆,该装置保证了照胶过程的稳定性,只进行一次照胶提高了生产效率的同时,压板完全压住待照胶晶圆,使其在照胶的过程中,整个照胶晶圆受力均匀,实现固化度一致,提高了照胶的可靠性。
基本信息
专利标题 :
一种平面波导型光分路器用晶圆照胶装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021472935.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-23
授权号 :
CN213349591U
授权日 :
2021-06-04
发明人 :
王超
申请人 :
常州凌凯特电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进高新技术产业开发区龙卧路3号
代理机构 :
常州市夏成专利事务所(普通合伙)
代理人 :
周文杰
优先权 :
CN202021472935.7
主分类号 :
B05D3/06
IPC分类号 :
B05D3/06 G02B6/122
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理;已有涂层的后处理,例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/06
使受辐射
法律状态
2021-06-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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