平面波导型光分路器的加工装置
授权
摘要
本实用新型涉及光分路器的技术领域，尤其涉及一种平面波导型光分路器的加工装置。这种平面波导型光分路器的加工装置包括一侧面敞开的箱体，箱体中间处设有用于放置晶圆的固定板，箱体的上端设有可上下调节的压板，箱体上端设有上UV点光源、下端设有下UV点光源。这种平面波导型光分路器的加工装置的结构简单，压板调节方便，同时上下光源保证照射更加均匀。
基本信息
专利标题 ：
平面波导型光分路器的加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021415352.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN212781326U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
王超
申请人 ：
常州凌凯特电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进高新技术产业开发区龙卧路3号
代理机构 ：
常州市夏成专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
周文杰
优先权 ：
CN202021415352.0
主分类号 ：
G02B6/122
IPC分类号 ：
G02B6/122
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
G02B6/12
集成光路类型
G02B6/122
基本光学元件，例如，传导光的光路
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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