光谱芯片及光谱仪
授权
摘要

本实用新型提供一种光谱芯片及光谱仪,芯片包括:在晶圆级别的图像传感器的感光区域的表面制备有光调制层,光调制层由金属和介质两种材料交替排布形成;光调制层包含由多个微纳单元组成的单元阵列;微纳单元包含有多组微纳结构阵列,每组微纳结构阵列由二维光栅结构形成,每组微纳结构阵列中的二维光栅结构为具有偏振无关特性的光栅结构;各微纳单元的多组微纳结构阵列中的二维光栅结构用于对入射光进行调制,将入射光的频谱信息调制到晶圆的不同像素点上,得到包含频谱信息的图像。本实用新型提供的光谱芯片对入射角度、偏振不敏感,从而使得光谱测量结果不会受到待测光入射角度和偏振特性的影响,进而能够保证光谱测量性能的稳定性。

基本信息
专利标题 :
光谱芯片及光谱仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021474900.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-23
授权号 :
CN212721756U
授权日 :
2021-03-16
发明人 :
崔开宇杨家伟蔡旭升黄翊东张巍冯雪刘仿
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
北京市海淀区双清路30号清华大学
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
杨云云
优先权 :
CN202021474900.7
主分类号 :
G01J3/433
IPC分类号 :
G01J3/433  G01J3/02  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法;分光光度测定法;单色器;测定颜色
G01J3/28
光谱测试
G01J3/42
吸收光谱法;双束光谱法;闪烁光谱法;反射光谱法
G01J3/433
调制光谱法;微分光谱法
法律状态
2021-03-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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