基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片及光谱仪
授权
摘要

本实用新型实施例提供一种基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片及光谱仪,所述光谱芯片通过在晶圆级别的图像传感器感光区域制备包含亚波长高对比度光栅结构的光调制层,使光调制层能对待测光进行调制,并将待测光的频谱信息调制到晶圆级别的图像传感器不同像素上,得到包含待测光的频谱信息图像。本实用新型实施例通过在晶圆级别的图像传感器上制备亚波长高对比度光栅,对光的调制能力更强,并将待测光的频谱信息调制到晶圆级别的图像传感器上,使光谱检测不再依赖精密移动的分光部件,不但使光谱检测设备体积和成本降低,也不再需要进行光学部件对准,降低后期维护成本,在晶圆级别的图像传感器上实现单片集成,缩小尺寸,大幅提高器件成品率。

基本信息
专利标题 :
基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片及光谱仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021477816.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-23
授权号 :
CN212458658U
授权日 :
2021-02-02
发明人 :
崔开宇郑泽坤蔡旭升黄翊东张巍冯雪刘仿
申请人 :
清华大学
申请人地址 :
北京市海淀区双清路30号清华大学
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
杨云云
优先权 :
CN202021477816.0
主分类号 :
G01J3/433
IPC分类号 :
G01J3/433  G01J3/02  G01N21/25  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分,偏振、相位或脉冲特性的测量;比色法;辐射高温测定法
G01J3/00
光谱测定法;分光光度测定法;单色器;测定颜色
G01J3/28
光谱测试
G01J3/42
吸收光谱法;双束光谱法;闪烁光谱法;反射光谱法
G01J3/433
调制光谱法;微分光谱法
法律状态
2021-02-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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