本实用新型公开一种太阳能电池板硅基片表面检测用光学系统，第一球面镜的出光面与第二球面镜的入光面为边缘接触式连接，第二球面镜的出光面与第三球面镜的入光面之间设有间距，微透镜包括第一微透镜和第二微透镜，第一微透镜和第二微透镜的相对镜面的Y轴方向均设有球面阵列结构。本实用新型采用三片球面镜对激光光束进行准直，再经过两片微透镜阵列在Y轴方向聚焦成线性光。三片球面镜对激光发散角进行压缩准直，微透镜阵列在Y方向对准直后的光束进行会聚，而对X方向的光束进行发散，最终在工作面上形成长度为180‑200mm，宽度为0.6‑0.8mm的线性光斑，相邻微透镜阵列之间重合光斑区域5mm，重叠光斑优化完成均匀度在90%左右。