一种分子泵故障诊断预测系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种分子泵故障诊断预测系统，包括：依次连接的故障模拟系统、真空腔体、真空抽气系统，分子泵诊断系统；所述故障模拟系统包括针阀，规管，VDE阀门及VDE阀门控制器；所述故障模拟系统用于模拟真空腔体泄露以及异物进入的突发状况，造成分子泵故障的情况；所述真空抽气系统一端通过插板阀与真空腔体相连接，另一端与机械泵相连接；所述分子泵诊断系统包括多状态监测传感器，数据采集设备，数据计算设备，故障诊断预测结果输出设备；所述多状态监测传感器，获取真实的分子泵故障状态数据，为分子泵诊断系统的在线实时分析提供数据保障。本实用新型提供了一种快速，经济，高效的解决方案，解决了分子泵故障数据不足导致分子泵诊断预测系统不能有效建立的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种分子泵故障诊断预测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021501828.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-27
授权号 ：
CN212454920U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
袁啸林陈跃胡建生庄会东侯吉磊周跃
申请人 ：
中国科学院合肥物质科学研究院
申请人地址 ：
安徽省合肥市庐阳区蜀山湖路350号
代理机构 ：
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 ：
张乾桢
优先权 ：
CN202021501828.2
主分类号 ：
F04D27/00
IPC分类号 ：
F04D27/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04D
非变容式泵
F04D
非变容式泵
F04D27/00
专门适用于弹性流体的泵、泵送装置或系统的控制，例如调节
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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