本新型涉及一种紫外标记晶圆切割高精度引导定位装置，包括承载机架、检测筒、紫外线检测灯、三维转台、CCD摄像头、投影玻片、透镜组及驱动电路，承载机架为柱状框架结构，承载机架下端面设定位腔，检测筒嵌于定位腔内，其前端面与投影玻片连接，CCD摄像头和透镜组均嵌于检测筒内，紫外线检测灯通过三维转台与检测筒侧表面铰接，驱动电路嵌于承载机架外，并与分别与紫外线检测灯、三维转台、CCD摄像头电气连接。本新型结构简单，使用灵活方便，通用性好，可实现快速与多种激光切割设备配套使用，并可实现在不同结构硅晶圆表面进行切割路径投影引导，且投影引导精度高，并可与激光切割作业同步进行，从而极大的提高了引导作业的灵活性和可靠性。