本实用新型属于晶圆上片技术领域，提供了一种晶圆自动上片用托盘，包括托盘本体，托盘本体的一侧开设有与料盘相适配的容纳槽，容纳槽的槽壁沿周向开设有若干第一定位槽，第一定位槽内插装有定位销；托盘本体上还设有若干夹持机构，容纳槽底部开设有起盘孔。一种上片载具，包括料盘，还包括上述托盘，载片板的外周壁开设有与第一定位槽对应设置的第二定位槽，料盘通过第二定位槽、定位销定位卡装于容纳槽内，且利用夹持机构与托盘锁紧固定。本实用新型料盘卡装于托盘内形成的上片载具，料盘不但实现了于托盘内的精准定位及牢固卡装，且卡装及取出操作简单方便，为在自动上片设备中进行晶圆上片使用提供了便利。