本申请实施例属于半导体加工设备技术领域，涉及一种柔性调节机构和夹具，包括底部支撑板、侧面支撑板和调节件；所述侧面支撑板为两个并供压爪安装，所述侧面支撑板设于所述底部支撑板两侧，所述调节件设于所述底部支撑板上，调节所述侧面支撑板在竖直方向的位置。将单一的刚性零件拆分为多个零件，对于不同型号的功率器件存在相对高度差时，通过调节件调节侧面支撑板在竖直方向的位置，以调节压爪在竖直方向的位置，从而可以对压爪对功率器件的压力大小直接进行调节，无需拆装，降低了工作量；底部支撑板和侧面支撑板之间采用柔性的连接方式，对出现数据错误或电机失步时，弹簧提供缓冲的作用，对机械零件起安全保护作用，防止功率器件变形。