一种微波腔体组件
授权
摘要
本申请涉及一种微波腔体组件，涉及光纤预制棒加工技术领域，该微波腔体组件用于加工石英反应管，石英反应管内设有等离子体负载，微波腔体组件包括：谐振腔壳体，开设有圆柱形谐振腔，谐振腔壳体底部开设有波导入口；耦合装置，其包括具有第一耦合孔的耦合波导和具有第二耦合孔的立柱波导，耦合波导一端与波导入口连通，另一端与立柱波导连通；第一耦合孔的尺寸被配置为使负载反射系数S11持续保持不大于第一阈值。本申请，随着石英反应管的管壁厚度增加，等离子体负载变化对微波能量耦合的影响较小，负载反射系数S11仍维持在较低的水平，以减少微波能量的损耗，提高沉积质量。
基本信息
专利标题 ：
一种微波腔体组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021547765.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN212783746U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
蔡冰峰
申请人 ：
烽火通信科技股份有限公司;烽火藤仓光纤科技有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新四路6号
代理机构 ：
武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李斯
优先权 ：
CN202021547765.4
主分类号 ：
H01P7/06
IPC分类号 ：
H01P7/06
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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