一种水膜系统缺水检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种水膜系统缺水检测装置，包括水膜支撑板，所述水膜支撑板上设置有多个微型隔膜泵，所述微型隔膜泵的输出端与喷嘴连接，所述喷嘴的喷嘴口朝向硅片，所述微型隔膜泵的输入端与出液管路连接，所述出液管路另一端与纯水桶连接，所述出液管路上设置有水流传感器，所述水流传感器与PLC控制器电性连接，能够有效提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种水膜系统缺水检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021550900.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN212542365U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
崔水炜吴章平万肇勇
申请人 ：
苏州昊建自动化系统有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州相城经济技术开发区漕湖街道漕湖大道48号1号楼
代理机构 ：
无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
丰叶
优先权 ：
CN202021550900.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
