半导体晶圆检测器
授权
摘要
本实用新型实施例涉及晶圆质量检测技术领域,具体而言,涉及一种半导体晶圆检测器,包括第一检测件、第二检测件和转动件。进一步地,转动件包括转轴以及活动连接于转轴的第一连接件和第二连接件,第一检测件的一端与第一连接件固定连接,第二检测件的一端与第二连接件固定连接,第一检测件和第二检测件上设置有测量长度的刻度。在使用上述半导体晶圆检测器时,第一连接件和第二连接件通过转轴使所述第一检测件和第二检测件相对转动,以对放置在第一检测件和第二检测件之间的待检测晶圆进行夹持,并通过第一检测件或第二检测件上的刻度对待检测晶圆中的特定区域的长度进行测量。如此,能够快速、便捷地检测出晶圆正面或背面是否存在异常。
基本信息
专利标题 :
半导体晶圆检测器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021553147.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-30
授权号 :
CN212517116U
授权日 :
2021-02-09
发明人 :
王丹王斌李俊王亮李超周锋
申请人 :
吉林华微电子股份有限公司
申请人地址 :
吉林省吉林市高新区深圳街99号
代理机构 :
成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
唐维虎
优先权 :
CN202021553147.0
主分类号 :
H01L21/66
IPC分类号 :
H01L21/66 G01B5/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2021-02-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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