位移检测器
授权
摘要
位移检测器包括：光源(140)；分束器(170)，其用于将从光源(140)发送的光分成两束光束；反射镜(181、182)，提供给从分束器(170)发送的两束光束，用于反射这两束光束并使它们入射到标尺(110)上；和角隅棱镜(191、192)，提供给在入射到标尺(110)的两束光束被衍射光栅(111)衍射时产生的衍射光束，其中角隅棱镜(191、192)回射所述衍射光并使所述光作为回射光入射到标尺上。在入射光和标尺的法线矢量之间形成的到光栅凹槽的入射角大于在回射光和标尺的法线矢量之间形成的衍射角。
基本信息
专利标题 ：
位移检测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1793778A
申请号 ：
CN200510136116.9
公开（公告）日 ：
2006-06-28
申请日 ：
2005-12-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
高桥知隆二本森辰悟
申请人 ：
三丰株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
马高平
优先权 ：
CN200510136116.9
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2008-06-25 ：
授权
2006-08-23 ：
实质审查的生效
2006-06-28 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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