研磨垫中心校准治具
授权
摘要

本实用新型提供一种研磨垫中心校准治具,包括主支架以及夹爪,主支架具有支架中心以及从支架中心向外延伸的多个支架段,每个支架段的延伸线上可拆卸地设置有一个夹爪,每个夹爪均包括在远离主支架的端部设置的侧板以及位于侧板里侧的第一挡块和第二挡块,第一挡块和第二挡块的里侧顶点分别位于两个圆周线上,各个第一挡块对应的圆周线平面低于支架中心且高于各个第二挡块对应的圆周线平面,两个圆周线的中心轴重合。在粘贴研磨垫过程中,通过检测研磨垫的侧面是否与各个第一挡块接触,并检测研磨盘的侧面是否与各个第二挡块接触,以进行中心校准,可以降低人工对准误差,使得研磨垫的中心位置准确,提高粘贴效率。

基本信息
专利标题 :
研磨垫中心校准治具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021581370.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-03
授权号 :
CN212735564U
授权日 :
2021-03-19
发明人 :
张乐杨帛霖
申请人 :
合肥晶合集成电路股份有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市新站区综合保税区内西淝河路88号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹廷廷
优先权 :
CN202021581370.6
主分类号 :
B24B37/34
IPC分类号 :
B24B37/34  B24B45/00  B24B37/005  G01B5/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/34
附件
法律状态
2021-03-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332