具有应力调节层的微热板
授权
摘要
本实用新型提供一种具有应力调节层的微热板，包括：硅基底，包括相对设置的第一表面及第二表面；硅基底包括中心加热区及外围支撑区，中心加热区包括贯穿第一表面以及第二表面的空气绝热腔；陶瓷悬膜，设于第一表面；应力调节层，覆盖至少部分陶瓷悬膜的上表面；加热层，加热层包括加热电阻膜及加热电极；加热电阻膜设于陶瓷悬膜上方并位于中心加热区，加热电极设于陶瓷悬膜上方并与加热电阻膜电连接；加热层至少部分与应力调节层接合。本实用新型的具有应力调节层的微热板，通过设置覆盖陶瓷悬膜的应力调节层，能够吸收陶瓷悬膜受热产生的热应力，可以大大提高陶瓷悬膜的应力承受能力，提高了微热板的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
具有应力调节层的微热板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021585324.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-03
授权号 ：
CN212572999U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
崔铮张克栋余飞陈晓跃刘福星周健
申请人 ：
苏州纳格光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼109室
代理机构 ：
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
常伟
优先权 ：
CN202021585324.3
主分类号 ：
H05B3/14
IPC分类号 ：
H05B3/14 H05B3/20 H05B3/34
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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