基于LDI成像技术的TIR棱镜补偿结构

授权

摘要

本实用新型公开了一种基于LDI成像技术的TIR棱镜补偿结构，包括在同一射线上的物面、TIR棱镜、玻璃模块和紫外镜头，所述物面、TIR棱镜、玻璃模块和紫外镜头在由左向右的方向上依次排布。本实用新型重新设计一种新的TIR棱镜补偿方案，来避免TIR棱镜带来的成像上的像差现象，提高LDI紫外镜头曝光效果，大幅提升了刻蚀精度，避免了避免像差过大导致的刻蚀不均匀。

基本信息

专利标题：

基于LDI成像技术的TIR棱镜补偿结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021586638.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-31

授权号：

CN213240800U

授权日：

2021-05-18

发明人：

向先兵陈铭勇

申请人：

深圳市灿锐科技有限公司

申请人地址：

广东省深圳市宝安区福永街道凤塘大道50号鑫龙科技园A栋2楼202

代理机构：

深圳市凯博企服专利代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

李绍飞

优先权：

CN202021586638.5

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20