粘合卡盘部件以及基板卡紧系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种粘合卡盘部件以及基板卡紧系统，所述粘合卡盘部件利用在显示器、半导体等的制造工序中支撑以及固定大面积基板的粘合剂，在应用现有的并未图案化的一般粘合层的大面积粘合卡盘应用图案化的粘合层或者具有任意形态的结构的粘合层的粘合剂，从而在将现有的支撑以及固定现有大面积基板的功能相同地执行的同时，减少或消除当执行拆卸基板的解除卡紧时粘合层被剥离而转移、转印至基板的现象，并且当粘附基板的卡紧(Chucking)和拆卸基板的解除卡紧时减少基板应力，从而预防基板受损。并且粘合层与基板粘合的面积减少，以相对减少，以减少基板表面变为疏水性的面积，从而提供应用于此部分的工序的不良减少以及稳定性。
基本信息
专利标题 ：
粘合卡盘部件以及基板卡紧系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021586742.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-03
授权号 ：
CN213139417U
授权日 ：
2021-05-07
发明人 ：
李相旻徐庭国金英俊尹景煜
申请人 ：
延原表股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道坡州市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
李盛泉
优先权 ：
CN202021586742.4
主分类号 ：
B65D6/04
IPC分类号 ：
B65D6/04 B65D25/10 B65D65/40
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D6/00
具有全部或主要由金属、塑料、木材或其代用材料制作的两件或多件刚性的，或基本上刚性的元件相互连接或组装构成主体的容器
B65D6/02
以形状为特点的
B65D6/04
盘或类似的无盖容器
法律状态
2021-05-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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