本实用新型涉及一种预冷盘开合装置，包括承座、开合机构及浮动机构。承座具有导向部及容纳空间，容纳空间用于放置待测元件，承座的顶部设有敞开口。开合机构包括连接件、驱动件及开合门，开合门可移动地设于承座的导向部，连接件的一端连接开合门，另一端连接驱动件，驱动件用于带动开合门遮蔽或打开承座的敞开口。浮动机构包括浮动连接块，浮动连接块连接开合门及连接件，使连接件能够浮动。在浮动机构的作用下，连接件能够浮动，这样能够解决开合门在移动过程中与导向部的平行度问题，避免开合门在开合的过程中出现卡顿的现象，从而保证生产效率。