一种用于单管芯片腔面和电极显微观察的固定装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于单管芯片腔面和电极显微观察的固定装置，解决现有固定装置易损伤芯片或固定不可靠的问题，并支持完整全面地检验单管芯片。该装置的固定基座具有台阶；台阶顶面设置有多个第一限位平底凹槽，用于平放容纳单管芯片并限制单管芯片在放置平面偏转；台阶竖立面设置有多个第二限位平底凹槽，用于竖放容纳单管芯片使单管芯片腔面朝上，并限制单管芯片在放置平面偏转，所述第二限位平底凹槽与台阶顶面相接形成相应的缺口；所述第一限位平底凹槽和第二限位平底凹槽的底面分别设置有至少一个吸附孔；所述固定基座的内部分别设置有两路真空通道，固定基座的侧面相应设置有两处真空通道接口。
基本信息
专利标题 ：
一种用于单管芯片腔面和电极显微观察的固定装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021617096.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-06
授权号 ：
CN213813314U
授权日 ：
2021-07-27
发明人 ：
王贞福李特
申请人 ：
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
代理机构 ：
西安智邦专利商标代理有限公司
代理人 ：
胡乐
优先权 ：
CN202021617096.3
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2021-07-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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