晶体管垂直腔面发射激光器
授权
摘要
本实用新型公开了一种晶体管垂直腔面发射激光器，包括按照外延生长的次序依次排布的衬底、下端面分布式布拉格反射镜、集电区、基区、发射区、上端面分布式布拉格反射镜，以及分别与集电区、基区、发射区导通的电极：集电极、基极、发射极；所述基区中设置有量子阱有源区；在基区、发射区、上端面分布式布拉格反射镜上除电极以外的表面区域均包覆有Al2O3保护膜，并且所述上端面分布式布拉格反射镜是由Al2O3膜结构与至少一种其它电介质材料膜结构呈周期性排布所构成的亚波长高对比度光栅。本实用新型在大幅提高T‑VCSEL器件的可靠性的同时，还降低了器件制造的工艺难度。
基本信息
专利标题 ：
晶体管垂直腔面发射激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920754724.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-24
授权号 ：
CN209608089U
授权日 ：
2019-11-08
发明人 ：
向宇
申请人 ：
苏州长瑞光电有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号
代理机构 ：
北京德崇智捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨楠
优先权 ：
CN201920754724.3
主分类号 ：
H01S5/183
IPC分类号 ：
H01S5/183 H01S5/187
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法律状态
2019-11-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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