一种基于气相沉淀技术的涂层涂覆装置
授权
摘要

本实用新型涉及金属涂层涂覆技术领域,尤其为一种基于气相沉淀技术的涂层涂覆装置,包括底座,所述底座的顶部焊接有反应箱,所述反应箱内腔背面的两侧均固定安装有加热器,所述底座的内壁焊接有隔板,所述隔板顶部的中心处轴承支撑有转管;本实用新型通过反应箱、隔板、转管、连接盒、第一真空泵、电机、主动齿、从动齿、喷气管、滑轨、托板、等离子体发生器和输送管的设置,使涂层涂覆装置具备气体分布均匀的优点,同时解决了现有的化学气相沉积成膜过程中,是将工件放置在反应舱内,然后向舱内充入化学气体,整个反应过程为被动式进行,无法保证舱内气体的均匀度,从而导致成膜质量产生偏差的问题。

基本信息
专利标题 :
一种基于气相沉淀技术的涂层涂覆装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021619096.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-06
授权号 :
CN212955339U
授权日 :
2021-04-13
发明人 :
吕琛
申请人 :
山东合创涂层技术有限公司
申请人地址 :
山东省临沂市高新区双月园路科技创业园D座一楼西第四间
代理机构 :
南京司南专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
叶蕙
优先权 :
CN202021619096.7
主分类号 :
C23C16/455
IPC分类号 :
C23C16/455  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2021-04-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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