一种混光组件、照明装置和光学检测设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种混光组件、照明装置和光学检测设备，包括：第一光传输模组，所述第一光传输模组包括多个第一光传输器件；混光模组，所述混光模组与所述多个第一光传输器件连接；第二光传输模组，所述第二光传输模组与所述混光模组连接。由于不同的第一光传输器件可与不同颜色的单色光源连接，将不同颜色的单色光传输至混光模组，且混光模组可对不同颜色的单色光进行混光，因此，可以根据需要混合出所需颜色的光。也就是说，可以根据晶圆背面残胶的颜色混合出相同或相近颜色的光，并采用相同或相近颜色的光对晶圆背面进行照明，以提高晶圆背面缺陷检测的信噪比，降低残胶对缺陷检测结果的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种混光组件、照明装置和光学检测设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021651988.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-07
授权号 ：
CN213689418U
授权日 ：
2021-07-13
发明人 ：
刘健鹏张鹏斌陈鲁
申请人 ：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
姚璐华
优先权 ：
CN202021651988.5
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01N21/01 F21S10/02 F21V9/00 G02B27/09
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-07-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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