照明光学装置及光学装置

专利权的终止

摘要

本发明涉及一种照明光学装置和光学装置，该光学装置采用所述照明光学装置，它们能够有效地收集从发光部(2)发出的光，用于以较低的照度不均匀性进行照明，而无需采用复杂结构。该照明光学装置设有：发光部(2)；透镜系统(3)，该透镜系统用于将从发光部发出的发散光束转变成平行光束；无焦光学系统(4a、4b)，该无焦光学系统用于调节通过透镜阵列(3)获得的平行光束的截面面积；复眼透镜(6)，该复眼透镜用于从截面面积被无焦光学系统调节的平行光形成多个光源图像(I)；以及柯勒照明光学系统，其使用通过复眼透镜(6)形成的多个光源图像(I)作为光源。

基本信息

专利标题：

照明光学装置及光学装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101107572A

申请号：

CN200680003129.1

公开（公告）日：

2008-01-16

申请日：

2006-01-25

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

水泽圣幸

申请人：

奥林巴斯株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

徐敏刚

优先权：

CN200680003129.1

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2021-01-08 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20060125
授权公告日 : 20090722
终止日期 : 20200125

2009-07-22 ：

授权

2008-03-05 ：

实质审查的生效

2008-01-16 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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