本实用新型公开了一种清灰装置，涉及单晶炉设备技术领域，主要目的是提高单晶炉设备残留挥发物的清理效率。本实用新型的主要技术方案为：清灰装置，该装置包括：空气压缩机构和清理部；所述空气压缩机构包括第一输出端和第二输出端；所述清理部包括第一清灰单元和第二清灰单元，所述第一清灰单元包括第一声波清灰器、清理罐、集灰仓和真空机构，所述第一输出端、所述第一声波清灰器、所述清理罐、所述集灰仓和所述真空机构依次连接，所述第二清灰单元包括第二声波清灰器、连接管和对接法兰，所述第二输出端、所述第二声波清灰器、所述连接管和所述对接法兰依次连接。