一种真空加热装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空加热装置，包括：腔体、加热装置和超低温冷冻管路；所述腔体设置有滚轮，所述滚轮用于运送腔体内的台车以及工件；所述加热装置通过上盖板设置在腔体的顶部，并且加热装置的热源朝向腔体内的工件；所述超低温冷冻管路通过管路固定架盘绕在腔体的两个内侧面；所述超低温冷冻管路与外界冷媒连通；采用本实用新型，运用IR加热灯管对工件表面进行微加热动作，经由轻微的表面热源使工件表面的水气能更快速的脱离工件，逸散到腔体内部空间，进而被真空泵抽除或是被超低温冷冻管路吸附，有效且快速的达到降低真空环境内以及工件表面水气的方法。
基本信息
专利标题 ：
一种真空加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021689238.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN213570721U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
吴煜明
申请人 ：
柏霆（苏州）光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市江苏省苏州高新区木桥街1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021689238.7
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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