激光加工晶圆精密定位托料架结构

授权

摘要

本实用新型提供一种激光加工晶圆精密定位托料架结构，包括在转运位设置的托料架，托料架上设置其上用于吸附晶圆托盘的托料架吸盘，托料架吸盘可以升降。托料架吸盘包括吸盘架体，吸盘架体上周向设置至少3个向上的吸头杆，吸头杆上设置负压吸嘴；吸头杆上设置与负压吸嘴连通的气体连接头，气体连接头通过负压管连接负压源头。托料架吸盘上固定一端向外侧伸出的托料架吸盘连接板、机架上固定伺服电机带动的托料架丝杠机构，托料架丝杠机构的托料架螺母与托料架吸盘连接板固定。托料架吸盘给与晶圆托盘的吸附力使晶圆托盘位置比较稳固，从而保证精确定位。

基本信息

专利标题：

激光加工晶圆精密定位托料架结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021701240.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-16

授权号：

CN213497261U

授权日：

2021-06-22

发明人：

陶为银巩铁建

申请人：

河南通用智能装备有限公司

申请人地址：

河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

代理机构：

郑州中原专利事务所有限公司

代理人：

张春

优先权：

CN202021701240.1

主分类号：

B23K26/70

IPC分类号：

B23K26/70