一种激光切割晶圆视觉定位装置

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摘要

一种激光切割晶圆视觉定位装置，包括用于固定晶园的精密XY轴二维工作台，以及沿Z轴移动的激光切割装置，激光切割装置包括固定在Z轴移动架的切割激光发生器，切割激光发生器发射的激光经光学处理后水平进入固定在Z轴移动架的第一合束镜，经第一合束镜反射后垂直进入固定在Z轴移动架的聚焦镜，其特征在于：所述第一合束镜上方设置固定在Z轴移动架的视觉定位装置，视觉定位装置光路的中心轴线垂直进入第一合束镜后，与切割激光中心轴线同轴垂直进入聚焦镜。本实用新型由于视觉定位装置光路的中心轴线垂直进入第一合束镜后，与切割激光中心轴线同轴垂直进入聚焦镜，使得切割激光的点处于视觉定位装置的中心点，便于精确定位。

基本信息

专利标题：

一种激光切割晶圆视觉定位装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021701629.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-16

授权号：

CN213437785U

授权日：

2021-06-15

发明人：

时文飞刘志豪田耕

申请人：

郑州轨道交通信息技术研究院

申请人地址：

河南省郑州市高新技术产业开发区翠竹街6号11号楼2楼

代理机构：

郑州中原专利事务所有限公司

代理人：

张春

优先权：

CN202021701629.6

主分类号：

B23K26/064

IPC分类号：

B23K26/064 B23K26/38 B23K26/70