半导体生产用测温杆支撑架
授权
摘要
本实用新型属于半导体生产应用设备领域,涉及测温杆,尤其涉及一种半导体生产用测温杆支撑架。包括底座以及竖直设置在底座上方的立杆,所述立杆上设置有支撑杆,所述支撑杆与立杆之间可活动固定连接,所述支撑杆和立杆之间垂直设置,所述支撑杆上设置有刻度尺,所述刻度尺沿测温杆放置方向水平设置,所述支撑杆远离立杆的一端设置有测温杆放置槽。本实用新型提供一种半导体生产用测温杆支撑架,通过支撑架的设置,有效的将刻度尺和测温杆进行结合,进而解决现有测温杆在使用过程中所存在的测量麻烦的技术问题,同时,本实用新型结构简单、加工方便、适合大规模推广使用。
基本信息
专利标题 :
半导体生产用测温杆支撑架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021711471.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-17
授权号 :
CN212513364U
授权日 :
2021-02-09
发明人 :
魏兴政程国军
申请人 :
济南兰星电子有限公司
申请人地址 :
山东省济南市章丘区明水街道赭山工业园
代理机构 :
济南誉琨知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
晏达峰
优先权 :
CN202021711471.0
主分类号 :
G01K1/14
IPC分类号 :
G01K1/14 G01B5/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01K
温度测量;热量测量;未列入其他类目的热敏元件
G01K1/14
支撑;固定装置;在特殊位置安装温度计的布置
法律状态
2021-02-09 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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