等离子流化床装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子流化床装置，包括等离子发生器和流化床，等离子发生器包括反应气体罐、保护气体罐、等离子产生机构和气体混合机构，所述等离子产生机构包括高压电源和射频电源，反应气体流分别经过高压电源和射频电源变成等离子反应流，等离子反应流与保护气体流在气体混合机构中混合成混合流进入流化床；流化床包括床体和加热机构，加热机构对床体进行加热，混合流在床体中与工件表面进行反应。本实用新型通过反应气体罐、保护气体罐和气体混合机构的配合，控制混合流的总量及其中等离子反应流的浓度，减少副反应；通过高压电源和射频电源增强电离度，同时采用流化床，提高气相沉积效率，在工件表面获得致密、规则的涂层结构。
基本信息
专利标题 ：
等离子流化床装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021732288.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-19
授权号 ：
CN213417007U
授权日 ：
2021-06-11
发明人 ：
朱伟杰罗晶肖骁
申请人 ：
苏州纽姆特科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市国泰北路15号D栋1楼
代理机构 ：
苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈华红子
优先权 ：
CN202021732288.9
主分类号 ：
C23C16/442
IPC分类号 ：
C23C16/442 C23C16/517 C23C16/455
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/442
采用流化床法
法律状态
2021-06-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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