便携式单晶炉调试平台
授权
摘要
本申请涉及一种便携式单晶炉调试平台，属于单晶炉的技术领域，用于解决现有技术中单晶炉调试效率较低的问题，该调试平台的采集元件连接模块能够连接采集元件以接收采集元件采集所得的反映单晶炉状态的采集信号，伺服电机控制模块能够连接单晶炉的晶升电机、晶转电机、埚升电机、埚转电机或热屏电机等伺服电机，以能够对单晶炉的晶升、晶转、埚升、埚转或热屏升降进行控制，显示控制模块监测单晶炉状态的同时控制单晶炉动作，从而较为方便的实现了单晶炉的调试过程，提高了单晶炉调试的效率。
基本信息
专利标题 ：
便携式单晶炉调试平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021742890.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-19
授权号 ：
CN213804067U
授权日 ：
2021-07-27
发明人 ：
陶智桂黄鸣王玉亮
申请人 ：
北京北方华创真空技术有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
侯巍巍
优先权 ：
CN202021742890.0
主分类号 ：
C30B15/20
IPC分类号 ：
C30B15/20
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
法律状态
2021-07-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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