一种MEMS传感器及智能电子终端
授权
摘要
本实用新型公开了一种MEMS传感器及智能电子终端，包括：基板和盖板，基板包括用于承载MEMS芯片的第一面、以及与第一面相对设置的第二面，基板上设置有自第二面向第一面的方向凹陷的槽体，槽体内安装有防水膜，在基板的第一面上开设有微孔结构，防水膜被配置为与微孔结构对应设置并且覆盖微孔结构。本实用新型的MEMS传感器在保证防水性能的基础上利于产品的薄型化，使得基板的加工更为简单，利于批量化生产。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS传感器及智能电子终端
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021749906.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN213305752U
授权日 ：
2021-05-28
发明人 ：
吴安生胡晓华
申请人 ：
潍坊歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021749906.0
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R1/44
法律状态
2021-05-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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