一种MEMS传感器及智能电子终端
授权
摘要
本实用新型公开了一种MEMS传感器及智能电子终端，包括：基板和盖板，所述基板包括用于承载所述MEMS芯片的第一面、以及与所述第一面相对设置的第二面；在所述基板的第一面上设置有微孔结构，所述微孔结构被配置为连通外界环境与所述封装腔体；所述基板上设置有自所述第二面向所述第一面的方向凹陷的槽体，所述槽体内安装有防水组件；所述防水组件包括覆盖所述微孔结构的防水部件，以及与所述防水部件对应设置的保护部件；所述保护部件设置在所述防水部件的远离所述微孔结构的一侧。本实用新型的MEMS传感器在保持基板凹槽深度的同时，增加了防水部件的保护结构，整个产品可靠性更好。
基本信息
专利标题 ：
一种MEMS传感器及智能电子终端
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021749908.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN213783592U
授权日 ：
2021-07-23
发明人 ：
胡晓华
申请人 ：
潍坊歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021749908.X
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04 H04R1/44
法律状态
2021-07-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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